截至2026年2月5日 14:07，中证半导体材料设备主题指数(931743)上涨0.44%，成分股珂玛科技上涨9.41%，芯源微上涨7.45%，金海通上涨4.40%，天岳先进上涨4.07%，中微公司上涨2.67%。半导体设备ETF华夏(562590)上涨0.53%，最新价报1.9元。拉长时间看，截至2026年2月4日，半导体设备ETF华夏近1月累计上涨16.65%，涨幅排名可比基金1/5。
流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手4.9%，成交1.31亿元。拉长时间看，截至2月4日，半导体设备ETF华夏近1月日均成交2.35亿元。
规模方面，半导体设备ETF华夏最新规模达27.25亿元。（数据来源：Wind）
资金流入方面，半导体设备ETF华夏最新资金净流出2074.60万元。拉长时间看，近23个交易日内有18日资金净流入，合计“吸金”18.58亿元，日均净流入达8077.43万元。（数据来源：Wind）
跟踪精度方面，截至2026年2月4日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.009%，在可比基金中跟踪精度最高。
半导体设备ETF华夏紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2026年1月30日，中证半导体材料设备主题指数(931743)前十大权重股分别为中微公司、北方华创、拓荆科技、长川科技、华海清科、沪硅产业、中科飞测、南大光电、芯源微、安集科技，前十大权重股合计占比63.99%。
半导体设备ETF华夏(562590)，场外联接(华夏半导体材料设备ETF联接A：020356；华夏半导体材料设备ETF联接C：020357)。
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